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        產業焦點
        標題 作者 內文
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        半導體前段製程技術發展趨勢

        • 2013/01/21
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        【內容大綱】 一、製程技術解說與演進 (一)28奈米HKMG製程 (二)下一世代晶片製程 二、IEK View 【圖表大綱】 圖一 在各個技術節點下,閘極氧化層與漏電流的關係 圖二 閘極優先製程 圖三 閘極後製製程 表一 閘極優先...

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