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        產業焦點
        標題 作者 內文
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        製程微縮,下世代微影技術朝向互補式發展

        • 2015/03/20
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        【內容大綱】 一、全球半導體製程技術發展 二、下世代微影製程技術,延伸193i、投資EUV、眺望E-beam (一)不斷進化升級以克服晶片製造瓶頸的浸潤式微影技術,但經濟效益低 (二)眾所矚目的下世代微影技術-EUV,生產力是一大挑戰 (...

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        半導體下世代製程發展難題

        • 2014/08/25
        • 2321
        • 78

        【內容大綱】 一、先進製程技術的瓶頸 二、關鍵的微影技術,光源的選擇? 三、IEKView 【圖表大綱】 表一 先進製程技術的電晶體演進 圖一 製程微縮與微影技術的演進關係 表二 下世代微影技術的選擇

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        從SPIE 2012看微影技術進展

        • 2012/10/08
        • 2323
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        一、奈米微影技術發展二、微影技術 ITRS Roadmap Lithography Scaling三、光阻材料與先進製程四、超紫外光微影技術(Extreme Ultra-Violet Lithography, EUVL)五、ArFi多重圖...

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