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半導體製程廢磷酸回收再利用模式

2024/10/29
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5G、AI應用帶來高階晶片商機，磷酸作為半導體製造晶圓清洗製程洗劑及蝕刻製程藥劑，預期未來需求將隨著半導體產業發展而持續成長。磷酸為製程耗材之一，製程後全數成為廢棄物，在半導體產業屬於大宗廢棄物之一，本文呈現國內、外半導體製程廢磷酸再...

林一星

#循環經濟 #半導體 #磷酸 #回收再生

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半導體製程廢光阻稀釋劑回收再利用模式

2023/12/20
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5G、AI應用帶來高階晶片商機，光阻稀釋劑作為IC製造微影製程關鍵原物料，預期未來需求將隨著半導體產業發展而持續成長。光阻稀釋劑為製程耗材，製程後全數成為廢棄物，在半導體產業屬於大宗廢棄物之一，本文呈現國內、外半導體製程廢光阻稀釋劑再...

林一星

#循環經濟 #半導體 #光阻稀釋劑 #洗邊劑 #回收再生