半導體製程廢光阻稀釋劑回收再利用模式 2023/12/20 1298 75 5G、AI應用帶來高階晶片商機，光阻稀釋劑作為IC製造微影製程關鍵原物料，預期未來需求將隨著半導體產業發展而持續成長。 光阻稀釋劑為製程耗材，製程後全數成為廢棄物，在半導體產業屬於大宗廢棄物之一，本文呈現國內、外半導體製程廢光阻稀釋劑再... 林一星 #循環經濟 #半導體 #光阻稀釋劑 #洗邊劑 #回收再生