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        標題 作者 內文
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        半導體製程廢磷酸回收再利用模式

        • 2024/10/29
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        5G、AI應用帶來高階晶片商機,磷酸作為半導體製造晶圓清洗製程洗劑及蝕刻製程藥劑,預期未來需求將隨著半導體產業發展而持續成長。 磷酸為製程耗材之一,製程後全數成為廢棄物,在半導體產業屬於大宗廢棄物之一,本文呈現國內、外半導體製程廢磷酸再...

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