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近來雖然通膨得到控制，但是手機、電腦與車用電子的需求回溫較為緩慢，而唯一供不應求的是AI相關的產品。這種趨勢也反映在相關的半導體製程與材料上。

電子特殊氣體是半導體製程中不可或缺的材料，可以是蝕刻或工作氣體的間接材料，也可以是薄膜製程留在晶圓上的直接材料。隨著全球與台灣半導體晶圓廠的擴產，相信相關的氣體供應也將會隨著需求而提升。

盤點七類特殊氣體的用量與市場金額，並了解特殊氣體的高度壟斷性。考量台灣半導體產業供應鏈韌性，應該思考提升在地化自主生產能力。

【內容大綱】

• 一、前言
• 二、氫氣應用趨勢
• 三、惰性(稀有)氣體應用趨勢
• 四、含氟蝕刻氣體應用趨勢
• 五、不含氟鹵素類氣體應用趨勢
• 六、矽或Low-K前驅氣應用趨勢
• 七、金屬前驅氣應用趨勢
• 八、High-K前驅氣應用趨勢
• 九、其他特氣與主要生產廠商
• IEKView

【圖表大綱】

• 表一、氣體純度與雜質分類
• 表二、常見雷射工作氣體
• 表三、2022年含氟氣體用量與金額
• 表四、含氟溫室氣體之100年全球暖化潛勢(global warming potential, GWP)
• 表五、2022年含氟氣體用量與金額
• 表六、2022年矽或Low-K前驅氣用量與金額
• 表七、2022年金屬前驅氣用量與金額
• 表八、2022年High-K前驅氣用量與金額
• 表九、2022年NH3與N2O用量與金額
• 表十、2022年主要氣體供應商與其市佔比