氫氣與電子特殊氣體的應用趨勢 2024/06/17 1013 72 近來雖然通膨得到控制，但是手機、電腦與車用電子的需求回溫較為緩慢，而唯一供不應求的是AI相關的產品。這種趨勢也反映在相關的半導體製程與材料上。 電子特殊氣體是半導體製程中不可或缺的材料，可以是蝕刻或工作氣體的間接材料，也可以是薄膜製程留... 廖鎔榆 #氫氣 #電子特殊氣體 #AI #惰性氣體 #蝕刻氣體 #鹵素 #矽 #Low-K #High-K #金屬 #前驅氣