半導體製程廢磷酸回收再利用模式
Recycling Model of Spent Phosphoric Acid Generated from Semiconductor Manufacturing Process
- 2024/10/29
- 746
- 67
5G、AI應用帶來高階晶片商機,磷酸作為半導體製造晶圓清洗製程洗劑及蝕刻製程藥劑,預期未來需求將隨著半導體產業發展而持續成長。
磷酸為製程耗材之一,製程後全數成為廢棄物,在半導體產業屬於大宗廢棄物之一,本文呈現國內、外半導體製程廢磷酸再利用現況,供國內業者未來投入發展或政府機關政策推動方向參考。
【內容大綱】
- 一、前言
- 二、磷酸簡介
-
三、我國IC製造廢磷酸回收再利用現況
- (一)我國IC製造廢磷酸產出概況
- (二)廢磷酸回收業者及再生產品流向
-
四、國際半導體產業之廢磷酸再利用現況
- (一)南韓半導體業者SK hynix廢磷酸再生為磷酸鹽類
- (二)南韓半導體業者Samsung廢磷酸再生為工業級磷酸
- (三)南韓環保除雪劑製造商STAR's TECH目標從廢棄物取得磷原料
- (四)日本半導體級磷酸製造商RASA將商業化封閉循環技術
- (五)日本住友商事與東北大學合作開發半導體級再生黃磷技術
- IEKView
【圖表大綱】
- 圖一、半導體為國內第五大廢棄物產出產業
- 圖二、半導體產業廢棄物產出量與產業景氣具正相關性
- 圖三、半導體產業廢棄物量體大且高速成長
- 圖四、磷酸於IC製造製程應用
- 圖五、我國IC製造廢棄物類型占比
- 圖六、2022年我國電子業廢磷酸產出規模及回收業者
- 圖七、南韓半導體業者SK hynix廢磷酸再利用模式
- 圖八、南韓半導體業者Samsung廢磷酸再利用模式
- 圖九、南韓業者規劃開發電子業磷酸封閉循環技術
- 圖十、日本化學品製造商發展磷酸封閉循環技術
- 圖十一、日本產學單位合作開發半導體級再生黃磷技術
- 圖十二、臺灣磷礦及衍生磷原料進口規模