開創前瞻科技，先由寬能隙半導體晶圓開始：切片設備的發展趨勢 2023/03/10 1050 34 本文探討寬能隙半導體材料在新能源政策推廣下的重要性，以及在半導體上游製程中，切片設備在生產中的應用。切片設備是將整塊晶體切割成許多個晶圓以實現大規模生產的關鍵設備。本文整理目前國內外寬能隙半導體材料的加工現狀，包括重點說明游離磨料線切割、... 呂建興 #碳化矽 #氮化鎵 #鑽石線切片 #雷射切片 #離子切片