用成本與應用需求決勝下世代晶圓製造技術-FD-SOI或FinFET 2016/08/29 3016 65 【內容大綱】 一、前言 二、追求低功耗與成本效益的技術選項-FD-SOI (一) FD-SOI的關鍵材料-矽絕緣體(SOI)基板 (二) 製程複雜度與半導體製造的成本息息相關 三、28奈米製程技術下，FD-SOI的產業鏈持續發展 四、IE... 陳婉儀 #製程 #基板 #複雜度