半導體製程溫度量測系統發展趨勢 2024/08/21 824 35 製程控制的精確度，是半導體製造效率和良率持續提高的關鍵，其中溫度量測系統在複雜的製程環境更扮演重要角色，些微的溫度變化就會影響薄膜的厚度、奈米結構的缺陷、材料移除率等。根據TechInsights的報告，全球半導體次系統模組中，溫度量測系... 張雯琪 #半導體設備 #溫度量測 #半導體