機器人在半導體製造中的應用與未來發展趨勢 2025/03/10 735 67 半導體製造業使用的機器人主要應用於三大領域：廠務與倉儲、晶圓搬運、以及設備維運。在廠務與倉儲方面，自動物料搬運系統(AMHS，Automated Material Handling System)是關鍵應用，這些系統不僅處理廠內的晶圓輸送... 張雯琪 #半導體設備 #晶圓搬運 #機器人