背照式CMOS影像感測器封裝技術及製程整合
- 2014/04/01
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【內容大綱】
- 一、製程步驟
- 二、結論
【圖表大綱】
- 圖1 背照式CMOS影像感測器製程結構及三維堆疊封裝流程
- 圖2 利用乾蝕刻設備將氧化保護層打開。(a)光學顯微鏡影像。(b)電子顯微鏡影像
- 圖3 以SUSS全自動設備製作之ZoneBond基板,邊緣Zone 2區域約1.5~2mm
- 圖4 以紅外線檢測 HT10.10 接合後無包覆氣泡
- 圖5 暫時接合製程後之厚度量測
- 圖6 研磨及拋光後出現之螺旋狀研磨痕跡
- 圖7 晶圓減薄後以紅外線量測設備量測晶圓厚度
- 圖8 晶片邊緣汙染問題
- 圖9 晶片邊緣汙染問題能夠藉由玻璃面邊緣切割解決
- 圖10 採用不同玻璃接合材料的晶圓分離結果
- 圖11 微凸塊製程去光阻及底電極蝕刻後結果
- 圖12 微凸塊與底部開孔對位誤差
- 圖13 製程整合應用於12”晶圓上
- 圖14 銅/錫微凸塊組裝接合後電子顯微鏡影像
- 圖15 組裝打線後照片