半導體設備關鍵模組市場趨勢分析 2026/01/28 103 13 半導體設備關鍵模組在2025年市場規模為22,569百萬美元，預測年複合成長率約7.9%，在2030年達到32,942百萬美元。本文分析成長幅度前三名的模組，包括真空模組、熱管理模組、電源與反應氣體模組，成長原因來自半導體製程步驟增加，以... 張雯琪 #半導體設備 #關鍵模組 #設備自主