太陽電池多晶矽材料製法解析 2010/02/12 2297 55 一、多晶矽材料的重要性 二、矽元素及矽烷的性質 三、各種多晶矽材料的製作方法四、結論 林顯光/工研院材化所 #多晶矽 #流體化床 #製程