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全球半導體沉積技術趨勢與市場展望

2026/05/18
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半導體元件結構隨著摩爾定律推進，已由平面微縮全面轉向垂直三維堆疊，致使薄膜沉積技術從製程輔助角色，躍升為與微影技術同等重要的核心關鍵。化學氣相沉積CVD憑藉高速成膜優勢與量產效益，持續在厚膜絕緣與大體積填充製程中扮演核心地位。相對而言，原...

黃尹

#原子層沉積 #全環繞閘極 #先進邏輯晶片 #高頻寬記憶體

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稀土材料在先進半導體的應用與其ALD前驅物市場

2023/10/24
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稀土材料以輕薄高效能之永久磁鐵形式應用於電動車與風力發電機為最大量且最高價值的應用。然而隨著半導體先進製程的進展，稀土材料悄悄的滲透，而漸漸成為不可忽視的『半導體調味料』。包括電晶體閘極介電層、功函數調整、鐵電記憶體介電層與更下世代的...

廖鎔榆

#稀土 #半導體 #高介電 #閘極 #鐵電 #負電容 #原子層沉積 #前驅物