稀土材料在先進半導體的應用與其ALD前驅物市場 2023/10/24 1922 45 稀土材料以輕薄高效能之永久磁鐵形式應用於電動車與風力發電機為最大量且最高價值的應用。然而隨著半導體先進製程的進展，稀土材料悄悄的滲透，而漸漸成為不可忽視的『半導體調味料』。 包括電晶體閘極介電層、功函數調整、鐵電記憶體介電層與更下世代的... 廖鎔榆(Jung-Yu Liao) #稀土 #半導體 #高介電 #閘極 #鐵電 #負電容 #原子層沉積 #前驅物
