F線上X光關鍵尺寸量測系統
- 2024/10/15
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精準量測半導體元件是確保電子產品良率的關鍵,為了量測愈來愈細小,並且朝向3D發展的電晶體,工研院打造「線上X光關鍵尺寸量測系統」,可量測半導體2奈米GAA製程關鍵尺寸的量測機台,助攻臺灣打入半導.....
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精準量測半導體元件是確保電子產品良率的關鍵,為了量測愈來愈細小,並且朝向3D發展的電晶體,工研院打造「線上X光關鍵尺寸量測系統」,可量測半導體2奈米GAA製程關鍵尺寸的量測機台,助攻臺灣打入半導.....