FAI智能晶圓研磨加工系統 助效率倍增
- 2024/11/15
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化合物半導體「碳化矽」是世界各大半導體業者積極競逐、布局的重要技術。工研院研發可提升碳化矽晶圓加工製程效率的「AI智能晶圓研磨加工系統」,以AI判讀晶圓加工訊號,大幅提升加工效率並降低生產成本,.....
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化合物半導體「碳化矽」是世界各大半導體業者積極競逐、布局的重要技術。工研院研發可提升碳化矽晶圓加工製程效率的「AI智能晶圓研磨加工系統」,以AI判讀晶圓加工訊號,大幅提升加工效率並降低生產成本,.....