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矽光子正在成為高速計算領域的熱門討論議題。近兩年生成式AI出現，協助人們將曠日廢時的繁鎖工作轉換為高效率的、具備深度學習且自動生成的整合、分析、編輯、繪圖、編碼、創造等技能，這些驚人的表現引發眾人對未來AI的想像。而能夠執行高速運算與傳輸的矽晶片，則是促成AI產業發展的關鍵要素。雖然目前國內矽光子產業才剛起跑，距離量產或許還要3年左右，但是未來應用情境明確，導入高速傳輸與高效能運算(HPC)的資料中心、AI和機器學習裝置、生醫感測系統等，因此先進半導體廠商已投入矽光子研發。在矽光子元件開發的過程中，無論是元件製造設備、封裝設備、測試設備也都是創新的領域，具有市場潛力但也存在挑戰。本文將研析矽光子元件製造過程中的關鍵設備，協助產學研界在現今矽光子的關鍵發展階段，掌握趨勢提前布局

【內容大綱】

• 一、矽光子產業的需求和市場
• 二、光晶片元件架構
• 三、光晶片製造過程中的關鍵設備
• 四、國內矽光子產業設備之發展狀況
• IEKView

【圖表大綱】

• 圖1、2023年矽光子通訊產業價值鏈
• 圖2、光晶片主要架構示意圖
• 表1、未來曝光與蝕刻技術關鍵規格