國際大廠半導體製程含氟廢棄物回收再利用模式
Recycling Model of Fluorine-containing Waste Generated from Semiconductor Manufacturing Process of Renowned Semiconductor Manufacturers
- 2023/07/06
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全球永續趨勢下,Apple等終端電子品牌業者持續要求上游供應鏈業者實行減碳、廢棄物管理等環境措施,而我國半導體產業身為電子產品全球供應鏈關鍵一環,對臺灣經濟影響也具舉足輕重地位,協助半導體產業妥善處理廢棄物有利於鞏固我國產業在全球領導地位。
含氟廢棄物為半導體製程大宗廢棄物,又全球IC製造產能主要分布於韓、中、日、美、歐等地,本文主要分析數間於前述地區設廠半導體大廠含氟廢棄物處理案例,包含廢棄物產源業者廠內處理、回收業者廢棄物再生及再生產品應用流向,供國內業者未來投入發展或政府機關政策推動方向參考。
【內容大綱】
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一、半導體產業含氟廢棄物回收再利用案例
- (一)華虹半導體
- (二)中芯國際
- (三)台積電
- (四)新唐科技
- (五)Intel
- (六)Kioxia
- (七)Samsung
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二、其他產業含氟廢棄物回收再利用案例
- (一)Japan Display
- (二)Central Glass
- (三)名古屋工業大學開發含氟廢氣再生技術
- IEKView
【圖表大綱】
- 圖一、華虹半導體上海廠含氟廢棄物處理流向
- 圖二、中芯國際上海廠含氟廢棄物處理流向
- 圖三、台積電中國大陸廠含氟廢棄物處理流向
- 圖四、新唐科技日本廠含氟廢棄物處理流向
- 圖五、Intel含氟廢棄物處理流向
- 圖六、Kioxia日本廠含氟廢棄物處理流向
- 圖七、Samsung南韓廠含氟廢棄物處理流向
- 圖八、Japan Display日本廠含氟廢棄物處理流向
- 圖九、Central Glass日本廠含氟廢棄物處理流向
- 圖十、名古屋工業大學開發含氟廢氣再利用技術
- 圖十一、我國半導體產業電子級氫氟酸供應路徑
- 圖十二、半導體產業氫氟酸廢液以循環經濟3.0為目標