高純度氣體在日本的發展動向 2007/10/05 1362 18 王惠芳 訂閱(0) 全選 取消選取 確認訂閱 電子產業供應鏈上游材料石化與新材料ITIS電子產業 #氣體 #製程 #半導體 一.前言 二、日本高純度氣體的發展動態 (1)日本-離子植入製程所使用的氣體銷售情況 (2)日本-潔淨及蝕刻用的氣體銷售情況 三、2006年高純度氣體在日本的供應鏈情況 (1) 日本-離子植入製程用的氣體 (2)日本潔淨及蝕刻用的氣體三、IEK觀點 本文為 K卡會員相關模組訂戶 限閱文章， 請先登入或升級。 本文檔案高純度氣體在日本的發展動向.pdf18次 下載檔案 推薦閱讀