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微機電系統(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)可作為感測器(sensor)或致動器(actuator)使用，應用除消費性電子領域，未來不僅是智慧家電、穿戴裝置產品，更擴及醫療、健康、國防、電信、工業等重要產業領域。而此趨勢也將帶動微機電系統感測器由功耗、體積、成本為首要的設計需求，轉向更為注重耐用性與可靠度，以符合工業製造領域對於感測器的需求。微機電與半導體發展關聯性極大，我國之微機電產業又以中小型企業為大宗，有必要針對產業現況與市場需求尋找發展方向，建立適合發展之產業型態。 

【內容大鋼】

• 一、前言
• 二、微機電系統產業發展
• 三、微機電系統終端產品與市場
  • (一)車用(Automotive)
  • (二)消費性應用(Consumers)
  • (三)醫療保健應用(Consumers)
  • (四)電信和航空(Aerospace)
  • (五)工業(Industrial)
  • (六)智慧家居
• IEKView

【圖表大綱】

• 圖1、MEMS技術之多元應用圖例
• 圖2、MEMS應用市場預測(2023~2028年)