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微機電系統(MEMS)技術發展及應用趨勢探討

• 2023/09/12
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微機電系統(Micro-Electro-Mechanical Systems, MEMS)可作為感測器(sensor)或致動器(actuator)使用，應用除消費性電子領域，未來不僅是智慧家電、穿戴裝置產品，更擴及醫療、健康、國防、電信、...