採異向性導電膠之細間距微凸塊晶片堆疊封裝製程
- 2013/11/05
- 2486
- 91
【內容大綱】
- 一、摘要
- 二、關鍵詞/Key words
- 三、前言
- 四、實驗步驟
- 五、結果與討論
- 六、結論
- 七、參考文獻
【圖表大綱】
- 圖一 測試載具上的微凸塊架構
- 圖二 異方性導電膠(a)結構示意圖 (b) SEM橫截面觀察 (c)傳統雙層架構異方性導電膠俯視照 (d) B-GATTM異方性導電膠俯視照
- 圖三 製程流程
- 圖四 預壓合製程參數與導電粒子捕捉率之關係
- 圖五 預壓合製程最佳參數狀態85°C/0.41MPa/2sec.
- 圖六 在製程溫度170℃下製程壓力對串接阻值之影響
- 圖七 不同製程壓力下掃描式顯微鏡接點橫截面觀察(a) 30MPa, (b)45MPa and (c)60MPa.
- 圖八 固定製程溫度下製程壓力對導電粒子捕捉數的影響
- 圖九 在製程壓力45MPa下製程溫度對串接阻值之影響
- 圖十 固定製程壓力下製程溫度對導電粒子捕捉數的影響
- 圖十一 異方性導電膠晶粒堆疊樣品溫度循環試驗串接阻值
- 圖十二 推力測試結果
- 圖十三 電子掃描顯微鏡可靠度前後異方性導電膠接點橫截面觀察
- 圖十四 電子掃描顯微鏡可靠度後之脫層現象