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先進半導體設備關鍵模組發展動向

• 2025/01/23
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半導體設備關鍵模組是半導體設備的上游，扮演流體管理、整合製程診斷、光學、電源與反應氣體產生、熱管理、真空供應、晶圓傳輸和系統整合等角色，對製程精確度和產品良率皆有重大影響。依技術發展和市場需求來看，未來3年較關鍵的三大領域為電源與反應氣體...