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半導體原子級沉積與蝕刻設備產業發展趨勢

• 2023/04/10
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沉積和蝕刻是半導體製程中的關鍵步驟，當今半導體製程線寬已經進入奈米等級，結構的階梯覆蓋效果引起許多的關注。一般氣相沉積和乾蝕刻製程，由於在邊角的部份，無法做到精準且均勻的厚度控制，所以原子級沉積(Atomic Layer Depositi...