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半導體產業面臨著能源消耗、碳排放、水資源使用等環境挑戰，亟需透過創新的製程控制技術和方法來生產更加綠色環保的半導體產品。本文探討半導體製程控制領域的綠色創新實踐和潛在挑戰，分析半導體生產過程中的主要環境影響因素，重點介紹透過製程控制來實現節能、減排、提高資源利用效率等目標的關鍵技術和方法，並討論在推動綠色創新過程中可能遇到的技術、成本、政策等方面的挑戰。

先進的製程控制和計量技術是推動半導體產業綠色創新，實現環境效益最大化的關鍵。透過智慧型能源管理系統、化學機械拋光控制技術、污染防治措施以及智慧製造和數位轉型等方式，半導體產業正朝著環境效益最大化的目標穩步前進。然而，推動綠色創新仍面臨諸多挑戰，需要產官學研各界攜手合作，加快關鍵技術突破和標準建立。

【內容大綱】

• 一、全球氣候變化對環境的影響：半導體產業在環境保護中的角色和責任
• 二、半導體生產過程的環境影響
• 三、如何透過製程控制實現綠色半導體生產
• 四、推動綠色創新面臨的挑戰
• 五、結論與未來展望
• 引用的項目
• IEKView

【圖表大綱】

• 圖1、計量支持產業經濟永續發展研討會
• 圖2、「計量帶動半導體供應鏈數位轉型與永續升級」日月光投控行政長 汪渡村博士
• 表1、Company performance and eco-efficiency indicators
• 圖3、國家度量衡標準實驗室主任暨工研院量測中心執行長 林增耀博士
• 圖4、如何幫助晶圓廠走向綠色
• 表2、總量測不確定度Total measurement uncertainty (TMU)差異