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面對全球暖化的氣候挑戰，多國已承諾將在2050年前達到淨零排放的目標，身為全球關鍵產業，半導體企業需要立即因應此一挑戰。台灣長期以來是全球主要的晶片生產基地，擁有全球最尖端技術的晶圓廠，半導體製造節能減排實現企業環境永續的進度，一直是政府和產業關切的重點。設備業者身為半導體製造的重要支柱，在供應鏈同步被要節能減排的過程中無法缺席，因此國際知名的半導體設備業者已經定期發佈企業責任報告書，揭露公司碳排放量、節電節水的策略，以及促進生物多樣性等環境友善的做法。本文將檢視半導體領導設備商企業環境永續制度、組織和目標，以及其在水資源節約、廢水回收、碳排放減量、社會環境友善等做法，提供加速我國半導體設備業者綠色轉型之參考依據。

【內容大綱】

• 一、半導體產業實現環境永續的目標
• 二、半導體設備企業水管理做法
• 三、半導體設備企業減碳做法
• 四、半導體設備企業實現生物多樣性做法
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【圖表大綱】

• 圖1、台積電2018~2021年機台節能效益增加趨勢
• 圖2、三星2021年溫室氣體減量的措施與效益
• 圖3、AMAT智慧能源管理控制器(iSystem)系統功能說明
• 圖4、ASML主力產品DUV和EUV的產品節能效益
• 圖5、ASML 2019~2022範疇的減碳效益