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        我國半導體產業循環經濟篇-前段製程材料之循環現況
        Circular Economy of Taiwan's Semiconductor Industry-The Current Status of the Cycle of Materials in the Front-end Process
        • 2021/06/30
        • 842
        • 50

        半導體產業分前段的晶片製作與後段的構裝或封裝測試,由於前後段製程的精密度與所用的材料品級有所差異,因此,其環保與回收處理的方式皆有不同,但是早期處理的技術一直都是以線性經濟為主要處理方式,隨著環保意識的增強,以及半導體製程不斷精進,所需的化學原料用量增加,雜質濃度要求更加嚴苛,廢料處理成為環保面對的重要課題。由於前後段製程材料不同,如何將線性經濟轉型為循環經濟是非常大的挑戰,導入循環經濟的策略之前,更須了解產業現今與未來的需求才能有長遠的目標規劃。本文先盤點半導體製程並整理出通用技術所需用的材料,再從所產出之廢料以及處理回收的技術剖析產業現況與闡述待解決的問題。

        【內容大綱】

        • 一、前言
        • 二、半導體前段製程用材料
        • 三、半導體製程主要原物料對應廢棄物之關聯性
        • 四、半導體製程主要廢棄物與處理方式
        • 五、半導體製程用材料回收再利用現況
          • (一)廢硫酸銅增值再利用
          • (二)顯影液增值再利用
          • (三)氨氮廢水增值再利用
          • (四)廢硫酸增值再利用
        • 六、回收與再生製程技術及可能合作的廠商
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        【圖表大綱】

        • 圖一、半導體前段晶圓製程說明
        • 圖二、我國半導體前段製程用材料結構
        • 圖三、半導體廠原物料比重分析
        • 表一、半導體產業液體化學品功能整理
        • 圖四、半導體製程主要原物料與廢棄物對應之關聯整理
        • 表二、半導體製程主要廢棄物與處理方式整理
        • 圖五、廢水回收處理再利用
        • 圖六、含銅、鈷類液回收再利用
        • 圖七、半導體業用顯影液回收處理後再供光電業使用
        • 圖八、半導體業用氨氮廢水之回收處理概況
        • 圖九、半導體業用廢硫酸之回收處理概況
        • 表三、半導體回收與再生製程技術及可能合作的廠商整理
        • 圖十、半導體製程主要原物料對應廢棄物之關聯性
        • 圖十一、半導體內外循環結構

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