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數位分身(Digital Twin)的定義是現實中事物的虛擬複製以及與之關聯的平台，在沒有打擾的情況下，可以用來預測現實的結果。這個概念應用在半導體製程，表示晶片生產流程和設備運作，皆可以透過建立模型來複製真實情況，機台不必運轉，就可以得到現實晶片工廠的生產表現。數位分身的魅力，已經吸引高額投資和高技術密集的半導體工廠關注，尤其在ESG浪潮下，由虛擬視角正確地呈現晶片生產過程、良率、表徵，還能省下機台設備水和電的消耗，所以領導設備業者近年來也紛紛投入數位分身技術，協助開發者和客戶更加了解機台運作情況，增強對設備效能的評估，以實現更高效的生產效率。本文透過國際半導體大廠的實際案例說明，期望供國內半導體設備參考，加速從自動化轉型成智動化。

【內容大綱】

• 一、數位分身技術於製造業中的應用益處
• 二、半導體製造業對數位分身技術的應用趨勢
• 三、國際半導體大廠數位分身技術的應用案例
• 四、半導體設備業數位分身技術的未來需求和趨勢
• IEKView

【圖表大綱】

• 圖1、企業建構數位分身所需的相關技術
• 圖2、應用數位分身技術進行晶片失效肇因分析