微型電子鼻帶動氣體感測陣列晶片化
Micro electronic nose drives gas sensing array wafer
- 2023/12/19
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自1982年Persaud等首次提出電子鼻概念以來,電子鼻的發展已經超過40年。電子鼻(Electronic Nose / e-Nose)是一種可以感測產品香氣,進而分類、識別產品的裝置,透過平價可攜式電子鼻可快速辨識的優勢,使用者可以在第一現場,立即透過可攜式電子鼻來執行分辨物質、分辨摻假、與分辨污染等任務。
隨著網路與人工智慧的科技進步,可攜式電子鼻的微型化、多功能化指日可待,短期在微流道氣體輸送與多氣體積體式晶片的進展,將讓系統微型化更近一大步,搭配人工智慧與雲端分類辨識上的整合創新,將讓可攜式電子鼻在應用上更趨普及。
【內容大綱】
- 一、電子鼻的發展與應用
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二、電子鼻系統簡介
- (一)樣品處理輸送模組
- (二)氣體感測陣列模組
- (三)信號資訊處理模組
- (四)模式分類識別軟體
- 三、應用情境帶動多氣體感測與陣列晶片
- 四、MOS氣體感測器的穩定性
- 五、MOS氣體感測晶片的篩選
- IEKView
【圖表大綱】
- 圖一、電子鼻單晶片
- 圖二、可攜式電子鼻架構圖
- 圖三、(a) 3x2 MOS感測器陣列,(b)陣列中單顆感測器懸浮結構
- 圖四、氧化錫表面氧吸附後氧氣的程式升溫脫附(TPD)
- 圖五、正負對稱的三角波與方波測試
- 圖六、正負方波測試結果
- 圖七、MOS氣體感測器修正模型
- 表一、不同濃度下的感測器RS與VB