臺灣半導體製程含氟廢棄物回收再利用現況分析
Recycling Model of Fluorine-containing Waste Generated from Semiconductor Manufacturing Process in Taiwan
- 2023/07/06
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根據環保署數據統計，2021年臺灣半導體產業廢棄物產出量達94萬公噸，其中17%為氫氟酸廢液、氟化鈣污泥等含氟廢棄物，屬於大宗廢棄物之一。
本文呈現臺灣半導體製程含氟廢棄物產源業者與回收業者處理現況，並分析各個回收模式面臨問題，供國內業者未來投入發展或政府機關政策推動方向參考。
【內容大綱】
- 一、含氟化學品為IC製造大宗原物料
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二、國內半導體產業含氟廢棄物回收再利用概況
- (一)IC製造：廢棄物產源業者
- (二)資源再生：廢棄物回收業者
- IEKView
【圖表大綱】
- 圖一、IC製造製程大宗原物料
- 圖二、IC製造製程常見含氟化學品
- 圖三、臺灣含氟廢棄物流向現況
- 圖四、2021年臺灣各產業含氟廢棄物產出量
- 圖五、氫氟酸廢液再生為工業級氫氟酸回收模式
- 圖六、氫氟酸廢液再生為氟鹽類回收模式
- 圖七、氫氟酸廢液、氟化鈣污泥再生為人工螢石回收模式
- 圖八、氟化鈣污泥再生為低強度混凝土(CLSM)回收模式
- 圖九、氟化鈣污泥作為水泥原料再利用模式
- 圖十、氫氟酸廢液封閉循環技術