電阻式記憶體(RRAM)製程整合與微縮技術趨勢
- 2014/03/04
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【內容大綱】
- 一、基本MIM堆疊整合與微縮
- 二、Concave結構整合及微縮
- 三、高密度電阻式記憶體結構：堆疊式交互陣列
- 四、高密度電阻式記憶體結構：垂直式三維電阻式記憶體元件
【圖表大綱】
- 圖一 基本MIM結構及製作流程圖
- 表一 用於RRAM的氧化物及其相較優點
- 圖二 Concave結構及製作流程圖
- 圖三 交錯線製作流程圖
- 圖四 交錯點製作流程圖
- 圖五 Vertical 3D RRAM結構示意圖