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        標題 作者 內文
        1
         

        原子層沉積設備市場暨產業動態

        • 2023/12/11
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        • 49

        原子層沉積製程技術具有極佳之薄膜成長厚度精確控制性、階梯覆蓋性、大面積均勻性、低溫製程及薄膜品質穩定良好等優異特性,成為半導體、能源、民生、觸媒與光電等產業積極發展之重要核心技術。隨著物聯網(IoT)、人工智慧(AI)和5G等先進技術,對...