半導體製程用靶材發展現況與市場趨勢 2022/06/27 3106 72 隨著5G、物聯網技術發達，電子裝置數量持續增加，為配合不斷微縮的晶圓製程，倚賴的是半導體製程技術不斷演進與良率的提升，半導體製程材料於此亦扮演著重要的角色。而製程中所使用的靶材，有別於傳統的電鍍製程使用較厚的膜層藉以得到鍍膜的均勻性，使用... 陳靖函 #靶材 #半導體製程 #濺鍍