- 《經濟日報》,吳國棟
- 2024/9/4 上午0:00
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在經濟部支持下,工研院積極結合南部循環材料產業能量,於臺南建置「化合物半導體粉體製程及晶體驗證實驗室」,特別導入日本半導體化學材料大廠德山的粉體製程設備,結合工研院自主開發的粉體檢測平台,協助碳化矽長晶業者導入應用,希望吸引國內外業者加入,有望串起臺灣半導體碳化矽完整產業鏈。
全球5G、電動車等產業蔚為趨勢,化合物半導體因具備高功率、高頻且低耗電特色,成為提升產品效率的關鍵材料,其中材料更是半導體前端製程的關鍵。工研院建置此實驗室,提供粉體與長晶驗證平台,從碳、矽原料、石墨坩堝、與碳化矽粉體等進行品質分析與驗證測試,可望協助業界縮短驗證時程,提升技術,扮演化合物半導體在國內蓬勃發展的關鍵角色。
工研院材料與化工研究所經理徐煜翔表示,在政府「南方雨林計畫」-功率半導體已具初步成果,粉體到晶圓端製備,與周邊耗材驗證,譬如不同晶相BETA SiC、ALPHA SiC等皆有能力生產,粒徑也可調控以符合晶體成長業界之需求,此產品可應用於高頻5G通訊元件、工業元件等領域,目前化合物半導體已是市場焦點,建置此平台就是讓有意進入化合物半導體材料供應鏈的廠商,給予適度協助。常發生的是廠商發現商品可應用到此領域時,推廣產品往往會遇到業者不願意更改原製程,如使用材料等種種問題而產生無力感。此時該平台就發揮功能,可提供現有產業穩定製程,替換材料改用廠商產品,實際測試後的數據給予認證,這樣的結果不但有利廠商推廣,產品可快速的導入下游的應用端。
另外,廠商不知道如何推廣產品,也可尋求工研院合作,院方累積許多經驗,深知業者有何種需求,可針對需求整合串聯上下游供應鏈的廠商,加快化合物半導體材料自主化的能力。
因為開發半導體材料先期投資可能上千萬或億元,對廠商來說是很大的成本支出,藉由此模式協助廠商提升技術,縮短製程時間,降低研發成本。站在工研院的角度,由政府來協助,幫助業者技術快速開發,分析、驗證、製程改善,最終把此技術移轉給業界,不但縮短研發過程,節省成本,當業界接受技術轉移,也就具備一定的知識能力,更容易朝高端產品的投入研發。
目前工研院可提供的服務從原料端的檢測、製程改善、驗證端的粉體合成、晶體成長、後段的磊晶等,串聯上中下游供應鏈、技術授權轉移給業界,是產業跨入此領域最佳幫手。
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