i卡會員

設備大廠均豪（5443）進軍半導體市場邁大步，和IBM技術合作的高敏度皮秒IC分析儀器，取代國外設備，正式出貨給晶圓代工龍頭大廠。

另外，均豪自動導引運輸車也進入晶圓大廠5奈米工廠，未來在其他廠區也會導入。

均豪智慧物流、檢測設備進入半導體業，預期2021年半導體設備業績倍增，成為未來成長引擎。

均豪董事長陳政興表示，四年前和IBM合作、簽訂技術授權合約，今年高敏度皮秒IC分析儀器（PICA）商品化，日前舉行出機儀式、本週正式出機，供貨給晶圓代工龍頭大廠。

相較於過去日本、美國大廠EMMI舊技術，均豪所開發的高敏度皮秒IC分析儀器進行動態分析，可以快速找到缺陷，有利於提升後續物性分析準確率，對於製程良率、可靠性提升大有幫助。

未來期望提供更新的技術、更具競爭力的成本，逐步取代美日大廠的設備。

此外，日前台積電宣布在南科5奈米工廠導入晶圓倉儲自動化搬運系統，其自動導引運輸車就是採用均豪的設備，未來晶圓倉儲自動化搬運系統會進一步擴及其他廠區。

對此，均豪表示，不方便對單一客戶表示意見。

均豪也把過去在面板相關技術運用於半導體領域，像是平面研磨設備用於RDL、Fan Out等高階封裝製程。

其他如晶圓外觀自動光學檢查機已經供應給封測大廠，而自動晶圓外觀檢查與3D量測機、濕蝕刻設備、自動白光干涉量測系統等等，可望在今年、明年陸續通過客戶驗證，明年營收貢獻將逐步放大。

隨著自動化物流相關設備陸續導入晶圓代工和封測廠，再加上高階檢測設備助攻，接下來逐漸發酵，預期2021年下半年這些專業設備會看到成果，陳政興看好2021年半導體相關設備業績將翻倍成長。

從產品組合來看，今年均豪面板相關設備佔比約70％、半導體10％、智慧物流、被動元件等其他應用營收佔比約20％。

明年半導體營收占比將翻倍，同時也將拉抬毛利率提升。