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荷商艾司摩爾公司（ASML）在台最大投資案，規劃在新北市林口工一產業園區內新建廠區，預計明年7月動工。行政院副院長沈榮津6日透露，ASML還計劃將歐洲供應鏈帶到台灣落地。惟據官員表示，尚無確切時間表。

沈榮津6日出席「2022年台日科技對話：半導體關鍵技術佈局與人才育成論壇」致詞時表示，台灣半導體產業鏈，花了50年不間斷打底，透過完整供應鏈布局以及產學研共同研發、專業人才培育，才得以創造出全球最具供應鏈韌性跟經濟效益的生產模式。

沈榮津說，2021年台灣半導體產業產值高達4.1兆元，造就30萬人的就業機會，其中晶圓代工跟IC封測全球第一，IC設計全球第二，對我國經濟有相當大貢獻。

沈榮津說，行政院會已通過《產創條例修正草案》10之2條，針對技術創新且在國際供應鏈中有關鍵地位的公司，提供研發跟設備租稅優惠，希望鞏固台灣半導體產業地位，提高競爭優勢，藉由鼓勵購置半導體設備，為設備供應鏈帶來商機。

沈榮津也表示，疫情可以提升台灣廠商技術核心實力，台日在半導體供應鏈形成上更緊密和互補，且共生、共榮。依據美國半導體協會（SIA）指出，2025全球半導體產值上看5,500億美元，疫情可帶動全球半導體生產製造需求成長。這幾年來可以看到政府在發展半導體產業窮盡一切，就為了讓半導體產業留在台灣。

沈榮津說，在發展過程中，5奈米、3奈米在南科；2奈米因為一個世代要8座廠區，切4座在新竹寶山二期，另外4座在中科台中園區二期，5日也已通過環評，一切都按照時間表進行。此外，他也透露，ASML不只加碼投資在新北市林口工一產業園區新建廠區，明年7月動工，還計劃將歐洲供應鏈帶到台灣落地。