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普森日前於半導體展展出的「氣靜壓精密主軸PDMS系列」產品，是普森突破傳統設計框架的重要里程碑，研發團隊利用氣體黏度僅有普通潤滑油千分之一的特性，搭配氣壓流道的結構設計，在主軸內部形成具備承載剛性的氣壓軸承，而搭載此技術的「氣靜壓精密主軸PDMS系列」，具環保、高轉速、智慧化特性，可滿足半導體晶圓的切割、減薄、研磨等加工條件需求，是製程零組件國產化的最佳選擇。

普森精密主軸公司表示，「氣靜壓精密主軸PDMS系列」三大特性，首先為「環保無油」：普森團隊依研發的氣體軸承技術，透過理論計算與分析進行軸承最適化設計，實現以外部氣體通過微孔進入定轉子間的間隙內，藉其靜壓浮上並獲得軸承剛性，取代傳統採用油脂潤滑鋼珠軸承的設計。此「環保無油」的設計，可有效避免油料對製程環境的污染。

二、零磨耗高速運轉：氣靜壓精密主軸PDMS系列以內藏高效率馬達直接驅動，可維持百分百的動力傳遞，轉速達到60,000rpm。配合氣體軸承設計，可實現真正零磨耗，有效降低製造過程中的能源損失，具備節能減碳的優勢。

三、智慧化：為應對日漸增加的自動化需求，普森「氣靜壓精密主軸PDMS系列」可內置溫度、震動等感測器，讓客戶隨時掌握主軸現況，適時調整參數，提高產出品質，滿足綠色智造的市場趨勢。

普森精密主軸公司電話（04）2213-5988，網址：www.posa-spindle.com。（黃奇鐘）