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      台積電導入乾式光罩潔淨技術 創20億元效益
      • 中央社,
      • 2020/7/31 下午12:51
      • 141

      新聞大綱

      (中央社記者張建中新竹2020年7月31日電)晶圓代工廠台積電(2330)導入乾式極紫外光(EUV)光罩潔淨技術,提升能源與資源使用效率,估計自民國107年試產迄今,累計創造新台幣20億元改善效益。

      台積電表示,依製程需求,EUV微影製程光罩分為有保護膜及無保護膜兩種,公司選用無保護膜的EUV光罩,提高透光性,減少EUV微影製程曝光光能損耗。

      為解決無保護膜EUV光罩的落塵問題,台積電品質暨可靠性組織攜手技術發展、營運組織,107年起共同開發落塵分析技術。

      台積電創新研發乾式EUV光罩潔淨.....

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