準力秀JL-D18半導體機 驚豔
- 工商時報,文/蔡榮昌
- 2024/3/29 上午4:40
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準力機械股份有限公司,工具機首家跨入半導體研磨領域,研發新型JL-D18雙面拋光機及雙面研磨機,用於半導體晶圓加工,產品加工後的表面精度可小於1um,在半導體晶圓研磨機拋光機中再度突破,在台灣工具機展(攤位:I0416)中,獨特半導體機器驚豔全場。
準力公司董事長林馨堂表示,新產品JL-D18雙面拋光機/雙面研磨機,具備自動/簡易供漿系統:粗細拋光/研磨液可選自動/手動切換,並可搭配線上自動厚度偵測,根據工件厚度與材質設計安裝厚度偵測儀。另外,自動工件取放系統,可客製化工件取片與放片。
新產品JL-D18雙面拋光機(double sided polishing)/雙面研磨機(double sided lapping),適用工件需要雙面同時加工,特別適於易翹曲之材料加工,機器可同時精密加工多片工件。拋光/研磨後之工件具優異平面度、平行度與低翹曲特性,機構採取行星式運轉設計,表面達無機械紋路效果(鏡面或霧面),PLC控制器可搭配類人機介面、提供使用者簡單操作方式,客製化程式撰寫與維護。
新產品JL-D18雙面拋光機/雙面研磨機二機一體,適合拋光與研磨工件種類,包括非金屬:矽晶圓、碳化矽晶圓、石英玻璃、藍寶石、氮化鋁、砷化鎵、鑽石晶圓;金屬:氧化鋁、銅、不銹鋼、碳化鋼、十字鋼等。網址:www.joenlih.com.tw。
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