德揚曝光機 高精度高產能
- 《經濟日報》,翁永全
- 2024/4/24 上午0:00
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高階半導體曝光機成為大國科技戰的管制品,德揚光電是台灣為數不多的曝光機專業廠,主攻二極體、觸控面板及被動元件業的黃光製程,市場指名定高。在同業屈指可數下,德揚20多年來在國內市場打下一片天,也有出口亞洲的實績。
德揚光電總經理朱仁亮表示,德揚的曝光機適合1um精度,每分鐘可曝光6片4吋晶圓;相較ASML用於半導體先進製程的EUV高階曝光機,朱仁亮喻為「火箭」等級,但幽默謙虛稱德揚的曝光機級數還在「腳踏車」階段,層次差很多。
事實上,即使是曝光精度不高的曝光機,也不是一般人都能做,尤其,具備曝光機整機設計能力的廠商並不多。德揚擁有光源自主能力,因此在供應鏈占有重要地位。以曝光機的汞燈光源為例,在環保趨勢下,終將被UV LED取代,德揚自主研發UV LED光源,成本壓低,售價幾乎與傳統汞燈相同,是難得的成就。
目前UV LED光源的市場滲透速度相當緩慢。朱仁亮解釋,光源改變會牽動製程參數的設定,除非不得已,多數業者大多沿用傳統光源。4月電價上漲及愈來愈沉重的ESG壓力,將驅使現況改變,提前因應可減少陣痛,並提高競爭力。
朱仁亮樂觀認為,曝光機的需求一直在,不會消失。隨著產品邁向更高規,有賴更先進的技術設備支援,在環保及減碳要求下,設備商不斷改良產品,也迫使製造工廠的設備汰舊換新。
電話(03)377-6065。
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