我國碳化矽(SiC)基板製造設備發展動態
Status of Silicon Carbide (SiC) Substrate Manufacturing Equipment Development in Taiwan
- 2022/03/02
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臺灣目前在碳化矽(SiC)基板生產仍然少量，部份加工設備與藍寶石基板相似可以沿用，但是最關鍵的長晶爐，由於需要廠商自行設計、改良，但是高電壓電流產生器、石墨坩堝、RF線圈等，均以進口為主；晶錠跟基板的檢量測設備也幾乎外購，所以整體而言，SiC基板製造設備仍依靠外商。未來我國若要在SiC產業持續發展，則需要有穩定的基板和相關設備供應，長晶爐和8吋基板的製造設備自主與精進，也是產業界和政府發展的重點項目。本文將透過觀察國外基板製造設備技術動態，以及國內基板製造設備產品和研究團隊的能量，並透過業者訪談，整理產業界對國產設備的需求，期待能促進設備業者跟製造業者更多交流機會，讓我國SiC基板製造設備的開發過程更加流暢。
【內容大綱】
- 一、全球SiC基板製造設備發展動態
- 二、我國SiC基板製造設備發展動態
- 三、我國SiC基板檢量測設備發展動態
- IEKView
【圖表大綱】
- 圖1、Soitec的Smart Cut技術
- 圖2、Sicoxs的SiCkrest技術
- 圖3、中鋼碳素石墨坩堝
- 圖4、SiC基板常見的缺陷種類，以及其對元件的影響
- 圖5、南方科技SiC基板xz與yz方向掃描3D缺陷型態及分佈