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      EUV新設備飆天價
      • 《經濟日報》,記者尹慧中/台北報導
      • 2022/1/21 上午0:00
      • 850

      新聞大綱

      英特爾、三星、台積電等半導體大廠先進製程大戰如火如荼開打,對極紫外光(EUV)設備需求大增,EUV獨家供應商艾司摩爾(ASML)下世代EUV設備再飆上新天價。

      據了解,有別於前一代的EUV ,下世代High-NA EUV 設備因為精密度更高、設計零件更多,價格水漲船高,其中,最新款由英特爾率先下訂的機種「EXE:5200 」系統報價逾3.4億美元(近新台幣95億元),再創歷史新高價。

      台積電今年大舉拉高資本支出,總金額上看440億美元,年增幅33%起跳,相關支出多數用於先進製程,業界認為,3奈米製程朝2奈米推進,下世代E.....

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