EUV新設備飆天價
- 《經濟日報》，記者尹慧中／台北報導
- 2022/1/21 上午0:00
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新聞大綱
英特爾、三星、台積電等半導體大廠先進製程大戰如火如荼開打，對極紫外光（EUV）設備需求大增，EUV獨家供應商艾司摩爾（ASML）下世代EUV設備再飆上新天價。
據了解，有別於前一代的EUV ，下世代High-NA EUV 設備因為精密度更高、設計零件更多，價格水漲船高，其中，最新款由英特爾率先下訂的機種「EXE:5200 」系統報價逾3.4億美元（近新台幣95億元），再創歷史新高價。
台積電今年大舉拉高資本支出，總金額上看440億美元，年增幅33%起跳，相關支出多數用於先進製程，業界認為，3奈米製程朝2奈米推進，下世代E.....
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