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      致茂攜手工研院 打造兆晟小金雞
      • 工商時報,袁顥庭/新竹報導
      • 2017/11/25 上午5:30
      • 751

      量測與檢測設備廠致茂電子(2360)攜手工研院養小金雞!轉投資的新創公司兆晟奈米科技昨(24)日正式與工研院簽約技轉「新世代溶液奈米粒子監測系統(SuperSizer)」,致茂兼兆晟董事長黃欽明表示,未來兆晟將鎖定奈米檢測技術,集團母公司致茂也會一起在半導體前端製程打天下,技轉單位工研院量測中心更期許兆晟要成為漢微科第二。

      致茂前三季合併營收達97億元,稅後淨利達17億元,較去年同期成長25%,至於10月營收15.66億元,也有年增94.17%的表現。

      由於半導體IC的濕式製程中需要使用特定化學溶液清洗、蝕刻與研磨晶圓表面,化學溶液中的雜質會影響製程良率,而現階段多採用光學原理來量測化學溶液,極限只能看到20奈米,因此溶液的中微奈米氣泡常成為不容易發現的「老鼠屎」。

      但SuperSizer創新了量測方法,先將溶液氣霧化,再搭配電壓變化影響奈米粒子的移動,以及再次凝結經氣霧化的奈米粒子,便可精準量測溶液中粒子的粒徑大小與分布。

      致茂也是相準了這點,才展開投資,黃欽明說,這個技術的測試結果令他相當佩服,也是讓他想要加以發揚光大的原因。

      在與工研院聯手創立了兆晟後,先以幫助台灣半導體廠提升良率為目標。

      除了半導體外,包括生醫、製藥都是可以應用的範圍。

      工研院量測中心主任林增耀說,可視化、有價值的數據檢測,是改善良率的關鍵之一。

      SuperSizer不僅可以連續24小時線上監測研磨液、雙氧水及超純水等化學溶液中粒子的大小與濃度,可量測的粒子範圍達3~1千奈米,遠優於業界水準,而且半導體廠也不需要改變原本的製程。

      黃欽明表示,兆晟將與致茂共同切入半導體前段製程檢測,並已獲准進入新竹科學園區,資本額將從2,000萬元增至2億元。

      目前半導體製程已推進至七奈米、三奈米,而良率更是先進製程的主戰場,如果可以有效監管、檢測雜散的奈米粒子、並加以控制,對半導體製程良率提升將有很大的貢獻。

      如果能幫助半導體製程良率提升1%,獲利將可提升8%,成果驚人。

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