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揭開磊晶製程黑盒子

2017/12/7 上午2:57經濟日報,李珣瑛

    麵包要烤得好吃,火候、時間、麵粉配方、發酵過程都很重要。磊晶製程如同烤麵包,過程中內部溫度、壓力、轉速等都是影響良率變數。但磊晶機台密閉像黑盒子,實驗成品出爐才知道結果好壞,取得最佳化參數得花一周。

    工研院機械所研發副組長王慶鈞博士化身磊晶製程吳寶春,秉持「To see is to believe(眼見為憑)」的科學家精神,打開黑盒子與工研院團隊開發出「可視化磊晶製程優化系統(CyberEpi)」,二小時就能找到最佳化參數,且分析準確度提升至95%,可大幅降低成本,提升競爭力,獲今年全球百大科技研發獎(2017 R&D .....

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